教授华中科技大学机械科学与工程学院
教师简介

一、个人基本情况
1970年9月出生,博士,教授,博士生导师,教育部“新世纪优秀人才支持计划”入选者。美国光学学会(OSA)、国际光学工程学会(SPIE)、国际电气电子工程学会(IEEE)、中国微米纳米技术学会(CSMNT)高级会员。Optics Letters, Optics Express, Journal of the Optical Society of America A, Sensors and Actuators A, Thin Solid Films等国际期刊审稿人。

1998年毕业于华中理工大学机械制造专业,获工学博士学位。2000年至2001年赴英国曼彻斯特大学进行为期1年的访问与客座研究。2002年至2005年在上海微电子装备有限公司及国家光刻工程技术研究中心,从事国家863重大专项“100nm分辨率步进扫描投影光刻机”的攻关研制。2006年获教育部“新世纪优秀人才支持计划”。现任华中科技大学机械科学与工程学院教授、数字制造装备与技术国家重点实验室教授、武汉光电国家实验室(筹)光电材料与微纳制造研究部教授、机械电子信息工程系副主任。

近年来主持了包括国家自然科学基金、国家863项目和国家863重大专项委托课题在内的10余项国家级科研项目。组建并带领纳米光学测量研究组(http://www2.hust.edu.cn/nom/index_chinese.html),在微纳测试技术、纳米光学测量、光学精密仪器、微纳制造技术、步进扫描投影光刻机基础理论与关键技术等方面开展了卓有成效的研究,取得了一批有影响的研究成果。获国家发明专利14项,发表学术论文100余篇,其中SCI和EI收录80余篇。

 

二、主要研究方向
微纳测试技术及设备、纳米光学测量及仪器、光刻成像理论及应用

 

三、近年主持的主要科研项目

国家自然科学基金重大研究计划项目“基于广义椭偏仪的纳米结构三维形貌参数测量理论与方法研究”,研究年限2011.1-2013.12,在研。
国家自然科学基金“基于红外椭偏光谱的高深宽比深沟槽结构侧壁形貌参数测量方法研究”,研究年限2011.1-2013.12,在研。
国家科技重大专项子课题“基于穆勒矩阵测量的增强型OCD系统关键技术研究”,研究年限2011.1-2013.12,在研。
国家科技重大专项委托课题“套刻测量关键技术研究”,研究年限2011.1-2013.12,在研。
国家科技支撑计划重点项目委托课题“视觉对准几何模板匹配算法研究”,研究年限2010.6-2011.12,在研。
数字制造装备与技术国家重点实验室重点课题“面向规模化制造的纳米结构形貌在线测量理论与方法研究”,研究年限2010.9-2012.12,在研。
华中科技大学自主创新基金重点项目“面向22nm节点IC制造的纳米结构三维形貌参数在线测量新方法”,研究年限2010.10-2010.12,在研。
国家自然科学基金“高深宽比微纳层次结构的仿壁虎毛参数优化设计与制作工艺研究”,研究年限2008.1-2010.12,在研。
国家863重大专项委托课题“投影物镜波像差检测理论与方法研究”,研究年限2007.11-2010.12,在研。
国家科技支撑计划重点项目委托课题“光刻机调焦调平技术”,研究年限2007.8-2009.10,已验收结题。
教育部新世纪优秀人才支持计划“基于频闪干涉视觉测量和基础激励的MEMS结构实验模态分析理论与方法研究”,研究年限2006.12-2009.12,已验收结题。
国家863计划项目“高深宽比微纳深沟槽结构基于模型的红外反射谱测量方法与设备”,研究年限2006.12-2008.12,已验收结题。
国家自然科学基金“基于相似性的时间序列表示与模式发现理论和方法研究”,研究年限2003.1-2005.12,已验收结题。