教育背景
    1998.09-2002.07清华大学机械工程系              工学学士
    2002.08-2008.06清华大学精密仪器与机械学系      工学博士
 工作履历
    2008.07-2010.07清华大学精密仪器与机械学系设计工程研究所 博士后
    2010.08-2013.12清华大学精密仪器与机械学系设计工程研究所 助理研究员
    2014.01-现在   清华大学机械工程系设计工程研究所  副教授
 学术兼职
    Engineering Applications of Computational Fluid Mechanics 审稿人
    Journal of Semiconductor 审稿人
    Plasma Science and Technology 审稿人
 研究领域
    IC装备多领域建模、工艺仿真与设计
    机械设计理论与方法
 研究概况
    以含工艺腔室的IC装备为研究载体，面向等离子体工艺仿真与腔室结构设计需求，主要从事复杂机械系统及其关键零部件的多场耦合与多学科设计优化的研究工作。曾负责中国博士后科学基金1项
，负责国家自然科学基金青年科学基金1项，及国家重大科技专项（02号IC装备重大专项）课题1项。并作为主要完成人或技术骨干，参与十五“863”IC装备重大专项4项，02专项3项。
 奖励与荣誉
    2009年国家科学技术进步二等奖，清华大学排名第三，校内主要完成人
教学概括
    担任《机械设计基础A（2）》、《机械基础实践》授课教师。
    2011年获得本科生课同等规模课堂所有参评教师得分的Top 15%（S=96.71±1.03 ）。