副教授清华大学机械系
教师简介

尹文生,男,1968年生,清华大学副教授,硕士生导师。

主要从事并联机构与IC装备控制技术和精度保证的理论与实验研究。主要负责和参加了项国家973项目、国家自然科学基金、国家863等项目20余项,发表研究论文40余篇,获得授权的国家发明专利7项。

在国家863计划项目的资助下开展了并联机床与并联机构控制策略、控制系统和精度保证方面的研究,开发了具有开放性、高精度控制算法的基于RTLinux实时操作系统的并联机床数控系统,解决了多自由度实时控制和结构几何精度补偿问题,在国家863计划重大专项、国家973项目的资助下开展了超精密运动台控制技术、高性能平面电机驱动技术、运动台精度标定与补偿技术的研究,针对光刻机超精密气浮工件台试验系统开展了动力学建模、模型辨识、鲁棒控制器设计等方面研究,建立了精确的机电系统模型,完成了工件台试验系统的控制系统研发,实现了运动台400mm/s运动速度下的10nm动定位精度和同步扫描精度。

同时教授“工程图学基础”、“机械制图实践”、“机电系统专题实验”、“机械设计综合训练”等课程。多次获系教学一等奖。